雖然摩爾定律（Moore’s Law）能否持續推進，產業界眾說紛云，但晶圓代工龍頭台積電靠著技術上的創新，可望讓先進製程依循摩爾定律，持續推進到5奈米及3奈米世代。為此，台積電將以南科園區為據點，投入5,000億元資金，建立支援5奈米及3奈米的龐大產能。
科技部長楊弘敦昨（6）日搶先發布台積電將投入5,000億元，建立5奈米及3奈米龐大產能的投資規畫。台積電對此表示，與科技部有針對後續擴產計畫進行溝通，包括討論到建地及水電供應等問題，但5奈米及3奈米仍在規劃中，尚無法說明及評論相關細節。
半導體先進製程競爭激烈，台積電目前面臨的不僅是韓國三星電子的龐大搶單壓力，台積電大客戶之一的處理器大廠英特爾，也持續透露對晶圓代工市場抱持興趣的看法。因此，台積電要在晶圓代工市場維持龍頭大廠地位，除了要擁有龐大的產能因應不同客戶需求外，在先進製程的推進上亦要領先競爭同業才行。
台積電第4季開始量產新一代10奈米鰭式場效電晶體（FinFET）製程，首座支援10奈米產能的中科12吋廠Fab 15第5期工程，已正式進入量產階段，而第6期工程將在明年上半年進入量產，第7期工程則會在明年下半年放量投片。
台積電將10奈米及7奈米視為同一製程世代，有9成以上的設備可以共通互用，所以，Fab 15的第5期至第7期等3座晶圓廠，都可支援10奈米及7奈米製程。台積電現已替聯發科、蘋果、海思等大客戶代工10奈米手機晶片或應用處理器；至於7奈米的量產時間點將落在2017年底、2018年初，包括可程式邏輯閘陣列（FPGA）大廠賽靈思（Xilinx）、繪圖晶片大廠輝達（NVIDIA）等，已決定採用台積電7奈米生產新一代晶片。
台積電預期7奈米量產的2年後，也就是2020年就可順利進入5奈米世代，並已開始進行5奈米製程的研發。除了在材料上可能有所改變，FinFET結構也可能變更，5奈米將是台積電首度將極紫外光（EUV）微影技術導入量產的主要製程節點。因此，台積電將在南科園區Fab 14第8期至第10期，規劃建立5奈米製程龐大產能，全部完工後月產能可望上看10萬片規模。
在5奈米之後的3奈米，若依摩爾定律進行，將在2022年後進入量產階段，而台積電將在南科持續擴建Fab 15新廠第11期及第12期工程，業界認為，台積電3奈米應該會以EUV微影技術為主力的先進製程節點，不僅成本可望大幅降低，還能提供更好的功耗。